TY - CONF ID - SisLab2846 UR - https://drive.google.com/file/d/0B5Z-EwyTsX9aMmdwX2hETkZYbmM/view A1 - Le, Khac Quynh A1 - Bui, Dinh Tu A1 - Nguyen, Xuan Toan A1 - Tran, Tien Dung A1 - Do, Thi Huong Giang A1 - Nguyen, Huu Duc Y1 - 2017/10/19/ N2 - H? các c?m bi?n ?o t? tr??ng d?ng ch? th?p d?a trên hi?u ?ng Hall ph?ng (PHE), c?u trúc màng m?ng ??n l?p Ni80Fe20 ?ă ???c chúng tôi nghiên c?u và ch? t?o d?a trên thi?t b? phún x? sputtering ATC-2000FC. Các nghiênc?u theo h??ng t?i ?u hóa c?u trúc, h́nh d?ng c?m bi?n v?i m?c ?ích t?ng c??ng ?? nh?y theo t? tr??ng, bao g?m c?m bi?n có các kích th??c: 1×5 mm 202, 1×7 mm2, 1×10 mm2 và có ?? dày l?p màng m?ng t? tính khác nhau 5, 10, 15 nm. K?t qu? nghiên c?u cho th?y, ?? nh?y c?a c?m bi?n ph? thu?c m?nh vào tính d? h??ng h́nh d?ng và b? dày c?a l?p NiFe. Tính d? h??ng h́nh d?ng càng l?n, b? dày l?p màng NiFe càng m?ng th́ ?? nh?y c?m bi?n càng cao. ?? nh?y l?n nh?t ??t ???c trên c?m bi?n ch? th?p có kích th??c 1×10 mm, có b? dày 5 nm cho giá tr? S(H)= 0,1 mV/Oe, t?i ḍng c?p 5 mA, t??ng ???ng v?i ?? nh?y 20 m?/Oe. V?i qui tŕnh công ngh? ch? t?o ??n gi?n, c?u trúc màng ??n l?p nh?ng ?? nh?y c?a c?m bi?n có th? so sánh ???c v?i các c?m bi?n có cùng lo?i, cùng ch?c n?ng ???c ch? t?o t? màng ?a l?p r?t ph?c t?p nh? c?m bi?n c?u trúc van-spin (VS),c?m bi?n t? ?i?n tr? xuyên h?m (TMR), t? ?i?n tr? d? h??ng (AMR) ?ă công b?. TI - Nghiên c?u, ch? t?o c?m bi?n t? d?a trên hi?u ?ng Hall ph?ng(PHE) M2 - Hue city, Vietnam AV - public T2 - H?i ngh? V?t lư Ch?t r?n và Khoa h?c V?t li?u Toàn qu?c ? SPMS 2017 ER -