%0 Conference Paper
%A Le, Viet Cuong
%A Bui, Dinh Tu
%A Nguyen, Doan Thanh
%A Nguyen, Thi Minh Hong
%A Quach, Duy Truong
%A Pham, Duc Thang
%B Hội nghị Vật lý Chất rắn và Khoa học Vật liệu Toàn quốc – SPMS 2017
%C Hue city, Vietnam
%D 2017
%F SisLab:2852
%T NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO CÁC NGUỒN VI NĂNG LƯỢNG  VĨNH CỬU DỰA TRÊN VẬT LIỆU FePt
%U https://eprints.uet.vnu.edu.vn/eprints/id/eprint/2852/
%X Các vi cấu trúc từ ngoài việc được sử dụng trong các cơ cấu vi chấp hành, vi hệ thống, còn đang được dùng như các nguồn năng lượng nhỏ, bền vững theo thời gian nhằm ứng dụng trong y sinh. Các vi cấu trúc từ này thường đòi hỏi phải có kích thước nhỏ, tạo ra được không gian từ trường với cường độ từ trường và độ biến thiên từ trường mong muốn. Trong bài báo này, vi cấu trúc từ FePt được nghiên cứu chế tạo bằng phương pháp phún xạ kết hợp với công nghệ quang khắc. Vi cấu trúc từ này gồm các hình khối có diện tích 60×60µm2 và chiều dày 500 nm, phân bố cách nhau 40 µm trên đế Si có diện tích 1×1 cm2. Cấu trúc từ chế tạo được này có dị hướng từ vuông góc với mặt phẳng đế với các giá trị đặc trưng đo theo phương vuông góc như lực kháng từ HC┴ ~ 4 kG và độ từ dư MR┴ ~ 200 emu/cm3. Mỗi vi cấu trúc từ này có thể tạo ra một nguồn năng lượng với giá trị lên đến 126 kJ/m3, có tiềm năng cho ứng dụng trong bắt giữ các phần tử kích thước micro-nano.