TY  - CONF
ID  - SisLab2899
UR  - https://eprints.uet.vnu.edu.vn/eprints/id/eprint/2899/
A1  - Le, Khac Quynh
A1  - Nguyen, Xuan Toan
A1  - Bui, Dinh Tu
A1  - Do, Thi Huong Giang
A1  - Nguyen, Huu Duc
Y1  - 2017/10/10/
N2  - H? các c?m bi?n ?o t? tr??ng d?ng ch? th?p và d?ng c?u Wheatstone d?a trên hi?u ?ng Hall ph?ng (PHE), c?u trúc v?i màng m?ng ??n l?p Ni80Fe20 ?ă ???c chúng tôi nghiên c?u và ch? t?o d?a trên thi?t b? phún x? sputtering ATC-2000FC. Các nghiên c?u theo h??ng t?i ?u hóa c?u trúc, h́nh d?ng c?m bi?n v?i m?c ?ích t?ng c??ng ?? nh?y theo t? tr??ng, bao g?m c?m bi?n có các kích th??c: 3×1mm, 5×1mm, 10×1mm, 10×0,5mm, có ?? dày l?p màng m?ng t? tính khác nhau 5, 10, 20 nm. K?t qu? nghiên c?u cho th?y, ?? nh?y c?a c?m bi?n ph? thu?c m?nh vào tính d? h??ng h́nh d?ng và b? dày c?a l?p NiFe. Tính d? h??ng h́nh d?ng càng l?n, b? dày l?p màng NiFe càng m?ng th́ ?? nh?y c?m bi?n càng cao. ?? nh?y l?n nh?t ??t ???c trên c?m bi?n ch? th?p có kích th??c 10×0,5mm, có b? dày l?p NiFe 5 nm có giá tr? 30 µV/Oe, t?i ḍng c?p 3 mA, t??ng ???ng v?i ?? nh?y 10 m?/Oe. V?i qui tŕnh công ngh? ch? t?o ??n gi?n, c?u trúc màng ??n l?p nh?ng ?? nh?y c?a c?m bi?n có th? so sánh ???c v?i các c?m bi?n có cùng lo?i, cùng ch?c n?ng ???c ch? t?o t? màng ?a l?p r?t ph?c t?p nh? c?m bi?n c?u trúc van ? spin (VS), c?m bi?n t? ?i?n tr? xuyên h?m (TMR) ?ă công b?.
TI  - Nghiên c?u, ch? t?o c?m bi?n t? d?a trên hi?u ?ng hall ph?ng (PHE)
M2  - Hue city, Vietnam
AV  - public
T2  - H?i ngh? V?t lư Ch?t r?n và Khoa h?c V?t li?u Toàn qu?c ? SPMS 2017
ER  -