%0 Patent
%@ 43591/QĐ-SHTT
%A Ho, Anh Tam
%A Nguyen, Huu Duc
%A Do, Thi Huong Giang
%A Nguyen, Viet Hung
%D 2019
%F SisLab:3627
%T Quy trình chế tạo kênh dẫn vi lưu sử dụng laze CO2 kết hợp với cơ cấu quét chùm tia bằng đầu lắc Galvo và đóng kín kênh bằng cách ép cơ học
%U https://eprints.uet.vnu.edu.vn/eprints/id/eprint/3627/