TY - PAT ID - SisLab3627 UR - https://eprints.uet.vnu.edu.vn/eprints/id/eprint/3627/ IS - 43591/Q?-SHTT A1 - Ho, Anh Tam A1 - Nguyen, Huu Duc A1 - Do, Thi Huong Giang A1 - Nguyen, Viet Hung Y1 - 2019/06/04/ TI - Quy trình ch? t?o kênh d?n vi l?u s? d?ng laze CO2 k?t h?p v?i c? c?u quét chùm tia b?ng ??u l?c Galvo và ?óng kín kênh b?ng cách ép c? h?c AV - none ER -