eprintid: 3627
rev_number: 7
eprint_status: archive
userid: 16
dir: disk0/00/00/36/27
datestamp: 2019-12-06 11:47:07
lastmod: 2019-12-06 11:47:07
status_changed: 2019-12-06 11:47:07
type: patent
metadata_visibility: show
creators_name: Ho, Anh Tam
creators_name: Nguyen, Huu Duc
creators_name: Do, Thi Huong Giang
creators_name: Nguyen, Viet Hung
creators_id: hoanhtam@vnu.edu.vn
creators_id: ducnh@vnu.edu.vn
creators_id: giangdth@vnu.edu.vn
creators_id: viethung1996vn@gmail.com
title: Quy trình chế tạo kênh dẫn vi lưu sử dụng laze CO2 kết hợp với cơ cấu quét chùm tia bằng đầu lắc Galvo và đóng kín kênh bằng cách ép cơ học
ispublished: pub
subjects: Phys
divisions: fac_physic
date: 2019-06-04
date_type: submitted
id_number: 43591/QĐ-SHTT
full_text_status: none
patent_applicant: University of Engineering and Technology, Vietnam National University, Hanoi
citation:   University of Engineering and Technology, Vietnam National University, Hanoi  (2019) Quy trình chế tạo kênh dẫn vi lưu sử dụng laze CO2 kết hợp với cơ cấu quét chùm tia bằng đầu lắc Galvo và đóng kín kênh bằng cách ép cơ học.  43591/QĐ-SHTT.