relation: https://eprints.uet.vnu.edu.vn/eprints/id/eprint/4156/
title: Hệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng
creator: Nguyen, Ngoc An
creator: Tran, Van Ngoc
creator: Dang, Dinh Tiep
creator: Do, Quang Loc
creator: Tran, Thi Thuy Ha
creator: Nguyen, Dac Hai
creator: Vu, Van The
creator: Nguyen, Nhu Cuong
creator: Pham, Ngoc Thao
creator: Bui, Thanh Tung
creator: Chu, Duc Trinh
subject: Electronics and Computer Engineering
description: Báo cáo này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS, một lĩnh vực  khoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cám biến gia tốc, cảm biến góc, cảm biến áp xuất, cảm biến sinh học,... Báo cáo cũng trình bày tóm tắt một số định hướng nghiên cứu của nhóm nghiên cứu Vi cơ điện tử và vi hệ thống, tại Khoa Điện tử- Viễn thông, Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà nội.
publisher: Viện KHCNQS
date: 2020
type: Article
type: PeerReviewed
identifier:   Nguyen, Ngoc An and Tran, Van Ngoc and Dang, Dinh Tiep and Do, Quang Loc and Tran, Thi Thuy Ha and Nguyen, Dac Hai and Vu, Van The and Nguyen, Nhu Cuong and Pham, Ngoc Thao and Bui, Thanh Tung and Chu, Duc Trinh  (2020) Hệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng.  TẠP CHÍ NGHIÊN CỨU KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ QUÂN SỰ  (10).   pp. 478-486.  ISSN 1859-1403