<> "The repository administrator has not yet configured an RDF license."^^ . <> . . . "Hệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng"^^ . "Báo cáo này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS, một lĩnh vực\r\nkhoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cám biến gia tốc, cảm biến góc, cảm biến áp xuất, cảm biến sinh học,... Báo cáo cũng trình bày tóm tắt một số định hướng nghiên cứu của nhóm nghiên cứu Vi cơ điện tử và vi hệ thống, tại Khoa Điện tử- Viễn thông, Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà nội."^^ . "2020" . "10" . . "Viện KHCNQS"^^ . . . "TẠP CHÍ NGHIÊN CỨU KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ QUÂN SỰ"^^ . . . "18591403" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . "Duc Trinh"^^ . "Chu"^^ . "Duc Trinh Chu"^^ . . "Thi Thuy Ha"^^ . "Tran"^^ . "Thi Thuy Ha Tran"^^ . . "Thanh Tung"^^ . "Bui"^^ . "Thanh Tung Bui"^^ . . "Van The"^^ . "Vu"^^ . "Van The Vu"^^ . . "Quang Loc"^^ . "Do"^^ . "Quang Loc Do"^^ . . "Dinh Tiep"^^ . "Dang"^^ . "Dinh Tiep Dang"^^ . . "Dac Hai"^^ . "Nguyen"^^ . "Dac Hai Nguyen"^^ . . "Ngoc An"^^ . "Nguyen"^^ . "Ngoc An Nguyen"^^ . . "Ngoc Thao"^^ . "Pham"^^ . "Ngoc Thao Pham"^^ . . "Nhu Cuong"^^ . "Nguyen"^^ . "Nhu Cuong Nguyen"^^ . . "Van Ngoc"^^ . "Tran"^^ . "Van Ngoc Tran"^^ . . . . . "HTML Summary of #4156 \n\nHệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng\n\n" . "text/html" . . . "Electronics and Computer Engineering"@en . .