TY  - JOUR
ID  - SisLab4156
UR  - https://eprints.uet.vnu.edu.vn/eprints/id/eprint/4156/
IS  - 10
A1  - Nguyen, Ngoc An
A1  - Tran, Van Ngoc
A1  - Dang, Dinh Tiep
A1  - Do, Quang Loc
A1  - Tran, Thi Thuy Ha
A1  - Nguyen, Dac Hai
A1  - Vu, Van The
A1  - Nguyen, Nhu Cuong
A1  - Pham, Ngoc Thao
A1  - Bui, Thanh Tung
A1  - Chu, Duc Trinh
Y1  - 2020///
N2  - Báo cáo này trình bày t?ng quan v? vi c? ?i?n t? MEMS, m?t l?nh v?c
khoa h?c liên ngành d?a trên n?n t?ng c?a ngành vi ?i?n t? và vi ch? t?o. Các linh ki?n MEMS hi?n nay ???c s? d?ng r?ng rãi trong xã h?i nh? cám bi?n gia t?c, c?m bi?n góc, c?m bi?n áp xu?t, c?m bi?n sinh h?c,... Báo cáo c?ng trình bày tóm t?t m?t s? ??nh h??ng nghiên c?u c?a nhóm nghiên c?u Vi c? ?i?n t? và vi h? th?ng, t?i Khoa ?i?n t?- Vi?n thông, Tr??ng ??i h?c Công ngh?, ??i h?c Qu?c gia Hà n?i.
PB  - Vi?n KHCNQS
JF  - T?P CHÍ NGHIÊN C?U KHOA H?C VÀ CÔNG NGH? QUÂN S?
SN  - 1859-1403
TI  - H? th?ng vi c? ?i?n t? MEMS và ?ng d?ng
SP  - 478
AV  - none
EP  - 486
ER  -