%A Ngoc An Nguyen
%A Van Ngoc Tran
%A Dinh Tiep Dang
%A Quang Loc Do
%A Thi Thuy Ha Tran
%A Dac Hai Nguyen
%A Van The Vu
%A Nhu Cuong Nguyen
%A Ngoc Thao Pham
%A Thanh Tung Bui
%A Duc Trinh Chu
%J TẠP CHÍ NGHIÊN CỨU KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ QUÂN SỰ
%T Hệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng
%X Báo cáo này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS, một lĩnh vực
khoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cám biến gia tốc, cảm biến góc, cảm biến áp xuất, cảm biến sinh học,... Báo cáo cũng trình bày tóm tắt một số định hướng nghiên cứu của nhóm nghiên cứu Vi cơ điện tử và vi hệ thống, tại Khoa Điện tử- Viễn thông, Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà nội.
%N 10
%P 478-486
%D 2020
%I Viện KHCNQS
%L SisLab4156