eprintid: 4156
rev_number: 9
eprint_status: archive
userid: 270
dir: disk0/00/00/41/56
datestamp: 2020-12-08 09:31:34
lastmod: 2020-12-08 09:46:39
status_changed: 2020-12-08 09:31:34
type: article
metadata_visibility: show
creators_name: Nguyen, Ngoc An
creators_name: Tran, Van Ngoc
creators_name: Dang, Dinh Tiep
creators_name: Do, Quang Loc
creators_name: Tran, Thi Thuy Ha
creators_name: Nguyen, Dac Hai
creators_name: Vu, Van The
creators_name: Nguyen, Nhu Cuong
creators_name: Pham, Ngoc Thao
creators_name: Bui, Thanh Tung
creators_name: Chu, Duc Trinh
creators_id: ngocan@vnu.edu.vn
creators_id: tvngoc84@gmail.com
creators_id: dangtiep.2011@gmail.com
creators_id: locdq@gmail.com
creators_id: tttha@gmail.com
creators_id: haind75@gmail.com
creators_id: thevutb@gmail.com
creators_id: cuongnn241@gmail.com
creators_id: thao.pham@uet.edu.vn
creators_id: tungbt@vnu.edu.vn
creators_id: trinhcd@vnu.edu.vn
title: Hệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng
ispublished: pub
subjects: ElectronicsandComputerEngineering
divisions: cetr_uet
divisions: fac_fet
abstract: Báo cáo này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS, một lĩnh vực
khoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cám biến gia tốc, cảm biến góc, cảm biến áp xuất, cảm biến sinh học,... Báo cáo cũng trình bày tóm tắt một số định hướng nghiên cứu của nhóm nghiên cứu Vi cơ điện tử và vi hệ thống, tại Khoa Điện tử- Viễn thông, Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà nội.
date: 2020
date_type: published
publisher: Viện KHCNQS
full_text_status: none
publication: TẠP CHÍ NGHIÊN CỨU KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ QUÂN SỰ
number: 10
pagerange: 478-486
refereed: TRUE
issn: 1859-1403
citation:   Nguyen, Ngoc An and Tran, Van Ngoc and Dang, Dinh Tiep and Do, Quang Loc and Tran, Thi Thuy Ha and Nguyen, Dac Hai and Vu, Van The and Nguyen, Nhu Cuong and Pham, Ngoc Thao and Bui, Thanh Tung and Chu, Duc Trinh  (2020) Hệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng.  TẠP CHÍ NGHIÊN CỨU KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ QUÂN SỰ  (10).   pp. 478-486.  ISSN 1859-1403