%0 Journal Article
%A Tran, Duc Tan
%D 2005
%F SisLab:94
%J Journal of Science, Vietnam National University, Hanoi
%T Mô phỏng cảm biến gia tốc MEMS kiểu tụ
%U https://eprints.uet.vnu.edu.vn/eprints/id/eprint/94/