Nguyen, Ngoc An and Tran, Van Ngoc and Dang, Dinh Tiep and Do, Quang Loc and Tran, Thi Thuy Ha and Nguyen, Dac Hai and Vu, Van The and Nguyen, Nhu Cuong and Pham, Ngoc Thao and Bui, Thanh Tung and Chu, Duc Trinh (2020) Hệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng. TẠP CHÍ NGHIÊN CỨU KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ QUÂN SỰ (10). pp. 478-486. ISSN 1859-1403
Full text not available from this repository.Abstract
Báo cáo này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS, một lĩnh vực khoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cám biến gia tốc, cảm biến góc, cảm biến áp xuất, cảm biến sinh học,... Báo cáo cũng trình bày tóm tắt một số định hướng nghiên cứu của nhóm nghiên cứu Vi cơ điện tử và vi hệ thống, tại Khoa Điện tử- Viễn thông, Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà nội.
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Subjects: | Electronics and Communications > Electronics and Computer Engineering |
| Divisions: | Center for Electronics and Telecommunications Research (CETR) Faculty of Electronics and Telecommunications (FET) |
| Depositing User: | Bùi Thanh Tùng |
| Date Deposited: | 08 Dec 2020 09:31 |
| Last Modified: | 08 Dec 2020 09:46 |
| URI: | http://eprints.uet.vnu.edu.vn/eprints/id/eprint/4156 |
Actions (login required)
 |
View Item |
